Cyclohexasilan - Wikiwand

Eine aktuelle Syntheseroute nutzt die chloridinduzierte Disproportionierung^[5] von Hexachlordisilan. Dabei entsteht direkt ein Derivat von Si₆Cl₁₂. Dieses wird im zweiten Schritt mit Lithiumaluminiumhydrid zum Cyclohexasilan reduziert.^[6]

Eigenschaften

Cyclohexasilan ist eine farblose Flüssigkeit, die sich an der Luft spontan entzündet.^[7] Synthese und Handhabung dieser Verbindung muss daher unter einem inerten Schutzgas wie Argon oder Stickstoff in einer Glovebox oder mittels Schlenktechnik erfolgen. Die Verbindung kristallisiert bei −30 °C in der monoklinen Raumgruppe C2/c (Raumgruppen-Nr. 15).^[8]

Verwendung

Cyclohexasilan ist ein wichtiger Präkursor zur Abscheidung von Siliciumschichten aus flüssigen Siliciumtinten in der Halbleiterindustrie.^[9]^[10]^[11]^[12]

Einzelnachweise

[1]
Vorlage:CL Inventory/nicht harmonisiertFür diesen Stoff liegt noch keine harmonisierte Einstufung vor. Wiedergegeben ist eine von einer Selbsteinstufung durch Inverkehrbringer abgeleitete Kennzeichnung von Cyclohexasilane im Classification and Labelling Inventory der Europäischen Chemikalienagentur (ECHA), abgerufen am 3. Oktober 2024.
[2]
Gmelin Handbook of Inorganic Chemistry Si, Supplement Volume B1, Compounds with Hydrogen. S. 225.
[3]
Edwin Hengge, Hannelore Keller-Rudek, Dieter Koschel, Ulrich Krüerke, Peter Merlet: Silicon, Supplement Volume B1. In: Hannelore Keller-Rudek, Dieter Koschel, Ulrich Krüerke, Peter Merlet (Hrsg.): Gmelin Handbook of Inorganic Chemistry. 1. Auflage. Supplement Volume B1. Springer-Verlag, Berlin, Heidelberg, New York 1982, ISBN 0-387-93461-8, S. 225.
[4]
Edwin Hengge, Dieter Kovar: Darstellung von Cyclohexasilan, Si6H12. In: Angewandte Chemie. Band 89, Nr. 6, Juni 1977, S. 417–418, doi:10.1002/ange.19770890617.
[5]
Jan Tillmann, Lioba Meyer, Julia I. Schweizer, Michael Bolte, Hans‐Wolfram Lerner, Matthias Wagner, Max C. Holthausen: Chloride‐Induced Aufbau of Perchlorinated Cyclohexasilanes from Si 2 Cl 6 : A Mechanistic Scenario. In: Chemistry – A European Journal. Band 20, Nr. 30, 21. Juli 2014, S. 9234–9239, doi:10.1002/chem.201402655.
[6]
Uwe Böhme: Inertgastechnik: Arbeiten unter Schutzgas in der Chemie. 1. Auflage. De Gruyter Oldenbourg, Berlin ; Boston 2020, ISBN 978-3-11-062703-9.
[7]
InfoCard zu Cyclohexasilane der Europäischen Chemikalienagentur (ECHA), abgerufen am 15. September 2024.
[8]
Maik Gerwig, Uwe Böhme, Mike Friebel, Franziska Gründler, Georg Franze, Marco Rosenkranz, Horst Schmidt, Edwin Kroke: Syntheses and Molecular Structures of Liquid Pyrophoric Hydridosilanes. In: ChemistryOpen. Band 9, Nr. 7, Juli 2020, S. 762–773, doi:10.1002/open.202000152, PMID 32728519, PMC 7383127 (freier Volltext).
[9]
Tatsuya Shimoda: Nanoliquid processes for electronic devices: developments of inorganic functional liquid materials and their processing. Springer, Singapur 2019, ISBN 978-981-13-2952-4.
[10]
Maik Gerwig, Uwe Böhme, Mike Friebel: Challenges in the Synthesis and Processing of Hydrosilanes as Precursors for Silicon Deposition. In: Chemistry – A European Journal. Band 30, Nr. 33, 12. Juni 2024, doi:10.1002/chem.202400013.
[11]
Srinivasan Guruvenket, Justin Hoey, Kenneth Anderson, Matt Frohlich, Gregory Strommen, Robert Sailer, Philip Boudjouk: Atmospheric pressure chemical vapor deposition of silicon thin films using cyclohexasilane. IEEE, 2014, ISBN 978-1-4799-4398-2, S. 3068–3070, doi:10.1109/PVSC.2014.6925583 (ieee.org [abgerufen am 15. September 2024]).
[12]
Srinivasan Guruvenket, Justin M. Hoey, Kenneth J. Anderson, Matthew T. Frohlich, Robert A. Sailer, Philip Boudjouk: Aerosol assisted atmospheric pressure chemical vapor deposition of silicon thin films using liquid cyclic hydrosilanes. In: Thin Solid Films. Band 589, August 2015, S. 465–471, doi:10.1016/j.tsf.2015.05.069.

Related Articles