Difluorsilan
chemische Verbindung
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Difluorsilan ist eine anorganische chemische Verbindung aus der Gruppe der Silane.
| Strukturformel | ||||||||||
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| Keile zur Verdeutlichung der Geometrie | ||||||||||
| Allgemeines | ||||||||||
| Name | Difluorsilan | |||||||||
| Summenformel | SiH2F2 | |||||||||
| Kurzbeschreibung |
farbloses Gas[1] | |||||||||
| Externe Identifikatoren/Datenbanken | ||||||||||
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| Eigenschaften | ||||||||||
| Molare Masse | 68,10 g·mol−1 | |||||||||
| Aggregatzustand |
gasförmig[1] | |||||||||
| Dichte |
2,783 g·l−1[1] | |||||||||
| Schmelzpunkt | ||||||||||
| Siedepunkt |
−77,8 °C[1] | |||||||||
| Sicherheitshinweise | ||||||||||
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| Wenn nicht anders vermerkt, gelten die angegebenen Daten bei Standardbedingungen (0 °C, 1000 hPa). | ||||||||||
Gewinnung und Darstellung
Difluorsilan kann durch Reaktion von Dichlorsilan mit Antimon(III)-fluorid gewonnen werden.[3]
Es entsteht auch neben Trifluorsilan bei der Reaktion von Tetrafluorsilan mit Wasserstoff.[4]
Eigenschaften
Verwendung
Difluorsilan kann zur Abscheidung von Siliciumnitridfilmen verwendet werden.[7]