Monofluorsilan
chemische Verbindung
From Wikipedia, the free encyclopedia
Monofluorsilan ist eine chemische Verbindung aus der Gruppe der Silane.
| Strukturformel | ||||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
 | ||||||||||||||||
| Keile zur Verdeutlichung der Geometrie | ||||||||||||||||
| Allgemeines | ||||||||||||||||
| Name | Monofluorsilan | |||||||||||||||
| Andere Namen |
Fluorsilan | |||||||||||||||
| Summenformel | SiH3F | |||||||||||||||
| Kurzbeschreibung |
farbloses Gas[1] | |||||||||||||||
| Externe Identifikatoren/Datenbanken | ||||||||||||||||
| ||||||||||||||||
| Eigenschaften | ||||||||||||||||
| Molare Masse | 50,11 g·mol−1 | |||||||||||||||
| Aggregatzustand |
gasförmig | |||||||||||||||
| Dichte |
2,048 g·l−1[1] | |||||||||||||||
| Schmelzpunkt | ||||||||||||||||
| Sicherheitshinweise | ||||||||||||||||
| ||||||||||||||||
| Wenn nicht anders vermerkt, gelten die angegebenen Daten bei Standardbedingungen (0 °C, 1000 hPa). | ||||||||||||||||
Gewinnung und Darstellung
Monofluorsilan kann durch Reaktion von Fluormethan mit Silicium[4] oder Reaktion von Silylmethylether mit Bortrifluorid[5] oder Reaktion von Monochlorsilan mit Antimon(III)-fluorid gewonnen werden.[6]
Eigenschaften
Monofluorsilan ist ein farbloses Gas.[1] Es besitzt als Feststoff bei 96 K eine monokline Kristallstruktur mit der Raumgruppe P21/n (Raumgruppen-Nr. 14, Stellung 2) und geht bei Normaldruck direkt in den gasförmigen Zustand über.[7]
Verwendung
Monofluorsilan kann zur Herstellung von Siliciumschichten verwendet werden.[8]