物理気相成長
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代表的なPVD手法
- 蒸着
- 抵抗加熱蒸着
- 電子ビーム蒸着
- 分子線エピタキシー法
- イオンプレーティング(イオンめっき)
- イオンビームデポジション
- スパッタリング
切削工具の表面処理に用いられる主なPVD皮膜
- TiN (窒化チタン)
- TiCN (窒化チタンカーバイド)
- TiAlN(窒化チタンアルミ)
- AlCrN(窒化アルミクロム)
板金・樹脂成型金型の表面処理に用いられる主なPVD皮膜
- TiN (窒化チタン)
- TiC (チタンカーバイド)
- TiCN (窒化チタンカーバイド)
- TiAlN(窒化チタンアルミ)
- AlCrN(窒化アルミクロム)
- CrN(窒化クロム)
- WC/C (タングステンカーバイド)
- DLC (ダイヤモンドライクカーボン)