Tetramethylammoniumhydroxid
chemische Verbindung, Hilfsstoff, Giftstoff
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Tetramethylammoniumhydroxid (TMAH) ist eine quartäre Ammoniumverbindung mit der Konstitutionsformel [N(CH3)4]OH, ionisch [N(CH3)4]+OH−.
| Strukturformel | ||||||||||
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| Allgemeines | ||||||||||
| Name | Tetramethylammoniumhydroxid | |||||||||
| Summenformel | C4H13NO | |||||||||
| Kurzbeschreibung |
farblose, zerfließliche, stark Ammoniak-ähnlich riechende Nadeln[1] | |||||||||
| Externe Identifikatoren/Datenbanken | ||||||||||
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| Eigenschaften | ||||||||||
| Molare Masse | 91,15 g·mol−1 | |||||||||
| Aggregatzustand |
fest | |||||||||
| Schmelzpunkt | ||||||||||
| Dampfdruck | ||||||||||
| Löslichkeit |
leicht in Wasser (700 g·l−1 bei 20 °C) unter Bildung stark basischer Lösungen[2] | |||||||||
| Sicherheitshinweise | ||||||||||
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| Toxikologische Daten |
25 mg·kg−1 (LD50, Meerschweinchen, s.c.)[3] | |||||||||
| Wenn nicht anders vermerkt, gelten die angegebenen Daten bei Standardbedingungen (0 °C, 1000 hPa). | ||||||||||
Eigenschaften
Chemische Eigenschaften
TMAH ist eine starke Base. Beim Erhitzen von TMAH erfolgt Zersetzung in Trimethylamin und Methanol.[1]
Verwendung
- In der Halbleiterfertigung beim anisotropen Nassätzen von Silicium
- Als Lösungsmittel beim Entwickeln von sauren Fotolacken
- Zur Verhinderung des Zusammenballens der Nanopartikel in einem Ferrofluid
- Als Derivatisierungsreagenz (Bildung von Methyl-Derivaten) in der chemischen Analytik
- Als Templat bei der Herstellung von synthetischen Zeolithen