Dans le domaine du vide, on utilise généralement un système composé d'un spectromètre de masse et d'hélium. On introduit de l'hélium et le spectromètre de masse permet de déterminer le débit et la localisation des micro-fuites. On utilise de l'hélium pour deux raisons principalement:
-Étant donné qu’il est composé des plus petits atomes qui soient, il aura plus de facilité à se faufiler dans les plus petites cavités existantes au sein de notre système, contrairement à un gaz d’argon qui est composé de plus gros atomes et qui y passerait donc plus difficilement.
-Le fait que l’Hélium fasse partie des gaz rares est également intéressant car cela permet de déterminer plus facilement la quantité pénétrante par rapport à la quantité de gaz utilisée. Cela permet surtout de pouvoir réaliser une mesure au niveau d’un endroit bien précis.