偏光解析法
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偏光解析法またはエリプソメトリー(ellipsometry)とは偏光を利用した分析手法。
概要
測定原理
偏光が試料で反射される際に生じる偏光状態の変化からその試料の光学定数を決定する[2]。
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偏光解析法またはエリプソメトリー(ellipsometry)とは偏光を利用した分析手法。
偏光が試料で反射される際に生じる偏光状態の変化からその試料の光学定数を決定する[2]。