ドライポンプ

ドライポンプは接ガス部にオイルを用いない真空ポンプである。内部の機構全てがオイルフリーなわけではない。半導体製造など、油汚染を嫌う場合に多く使われる。

真空ポンプの分類として、ウエットポンプに対比する用語。