反応性スパッタ法

反応性スパッタ法（はんのうせいスパッタほう）は、スパッタリングの手法の一つ。スパッタにより薄膜を作製する際に、酸素や窒素などのガスをチャンバー内に流すことで、ターゲット構成物質に含まれる成分とガスとの生成物質を薄膜として堆積させる。