逐次三点法
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逐次三点法（ちくじさんてんほう）とは、超精密計測･加工技術においての計測法の一つである。 現時点では実験段階なので成果がで次第、編集するものとする。
小型部品のみではなく大型部品の高精度化が求められ、大型部品の高精度な形状計測は極めて困難である。実体基準を使わず、数mの大型部品の形状を0.1μm以上の精度で測定する測定法の一つが逐次三点法である。
原理
三本のプローブを使い被測定物の表面形状を測定する。その出力を計算式にいれ計算することによって、表面形状が算出される。その形状がしばしば最小二乗法で表面を算出することもある。
利点
一点法や反転一点法、二点法で解消できなかった、回転運動誤差や直進並進誤差を取り除くことが出来る。
欠点
熱ドリフトや感度誤差などが多く含まれる。また熱ドリフトは時間と温度が一対一の関係ではないため、解明が難しいとされている。
