トリメチルシラン

トリメチルシラン
優先IUPAC名 Trimethylsilane
識別情報
CAS登録番号	993-07-7
3D model (JSmol)	Interactive image
ChemSpider	63614
ECHA InfoCard	100.012.366
EC番号	213-603-0
PubChem CID	70435
UNII	9L70DJH2K0
CompTox Dashboard (EPA)	DTXSID60870822
SMILES C[SiH](C)C
特性
化学式	C3H10Si
モル質量	74.2 g mol−1
密度	0.638 g cm−3
融点	-135.9 °C, 137 K, -213 °F
沸点	6.7 °C, 280 K, 44 °F
危険性
GHS表示:
絵表示
重要な用語	Danger
危険性報告	H220, H224, H315, H319, H335
予防報告	P210, P233, P240, P241, P242, P243, P261, P264, P271, P280, P302+352, P303+361+353, P304+340, P305+351+338
NFPA 704（ファイア・ダイアモンド）	2 4 1
特記なき場合、データは常温 (25 °C)・常圧 (100 kPa) におけるものである。

トリメチルシラン (trimethylsilane) またはトリメチルシリルヒドリド (trimethylsilyl hydride) は、化学式がC₃H₁₀Si、構造式が(CH₃)₃SiHで表される化合物である。引火性が非常に大きい。プラズマ相のエッチング液として半導体工業で用いられる^[1]。