リモート・プラズマ

リモート・プラズマ (またの名は、ダウンストリーム・プラズマもしくはアフターグロー・プラズマ）は、プラズマと材料の相互作用がプラズマ・アフターグロー（英語版）内のプラズマから離れた場所で発生するプラズマ処理（英語版）方法である^[1][2]。