二川清

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二川 清(にかわ きよし、1949年 - )は、日本の技術者である。大阪府出身。

現在、一般的に使われている半導体故障解析技術である、IR-OBIRCHの発明者として知られる[1]

1968年大阪府立三国丘高校卒業、1972年大阪大学基礎工学部物性物理工学科卒業、1974年同大学院基礎工学研究科物理系修士課程修了。1995年論文提出により工学博士(大阪大学)。1974年日本電気(株)入社。

1981年、エレクトロマイグレーションの汎用モデルの構築とそれに基づいたモンテカルロシミュレーションの事例を発表[2]

1989年、FIB (Focused Ion Beam, 集束イオンビーム)の半導体故障解析への応用法を開発し、その事例を発表[3]

1993年、OBIRCHを発明し、その応用例を発表[4]

1996年、IR-IBIRCHを発明し、その応用例を発表[1]

主な著書

脚注

関連項目

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