CP/M ver.1およびver.2（およびそこから派生したMP/Mなど）では、CP/Mファイルシステム自体でファイルサイズを記録できなかったため、ファイルの終端がわかるようなマークをつける必要があった[1][2]。CP/Mではファイルの末端に0x1Aをつけていた。CP/M ver.3以降（およびそこから派生したConcurrent CP/M, Concurrent DOS（英語版）, DOS Plus（英語版）など）で使われた拡張CP/Mファイルシステムはバイト粒度のファイルに対応しているので[3][4]、これは機能的には必須ではない、後方互換性のための単なる慣例となっていた。
CP/MやDOSでも、文字ストリームの終端を示すのに0x1A（置換文字）が使われている。インタラクティブコマンドラインウインドウにおいてユーザ入力を終了させたり、COPY CON: TYPEDTXT.TXT のようなコンソールリダイレクションを終了させるのにも使われる。
もはやファイルの終端を示すことは技術的に要求されていないが、多くのテキストエディタやプログラミング言語は、ファイルの末端にこの文字を入れるか、入れるように設定することができる。そのように入れられたEOFを「ソフトEOF」と言い、必ずしもそこが物理的なファイルの終端であるとは限らないが、「これより先に有用なデータはない」ことを示す。実際には、ファイルシステムにおいてソフトEOFより先のデータの実際の終端までに何らかのデータが存在するかもしれない。ファイルの内容をTYPEコマンドやエディタで表示させたときに、その内容は隠される。多くのファイル形式の標準（例えばPNGやGIF）では、置換文字がヘッダの末端に挿入されており、テキストファイルとして表示させたときにヘッダのみが表示されるようになっている。
Visual Basicなどいくつかのプログラミング言語では、ファイルを読み込むプリミティブ（INPUT、LINE INPUTなど）において置換文字以降を読むことができない。バイナリファイルとして読みこめば置換文字以降も読める。
UNIXでは「ジョブ制御」機能を持ったシェルであれば、置換文字 (Ctrl-Z) はプロセスを中断 (suspend) するシグナル (SIGTSTP) の発生に用いられる。中断されたプロセスはフォアグラウンドモードかバックグラウンドモードで再開するか、終了することができる。