FEMには、除震機能を取り付ける必要がなく、極めて単純な構造でありながら、空間分解能は10~20Å程度に達する[2]。針にはタングステンがよく使用される。FEMで得られる電子放出パターンは、大まかにいうと針先端の仕事関数の分布を示している。そのため、パターンから金属針先端の結晶方位がわかる[1][2]。さらに、1nm程度の1分子が針上に吸着した場合は、拡大率がさらに20倍程度上がり、分解能も3Åまで上がる[4]。このような状況は1分子電子源[5]を用いることで実現でき、1分子電子源を用いれば、1分子内の分子軌道もFEMで観測できるようになる[6]。