Difluorosilane
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| Difluorosilane | |
| |
| Structure du difluorosilane | |
| Identification | |
|---|---|
| No CAS | |
| PubChem | 123331 |
| SMILES | |
| InChI | |
| Apparence | gaz incolore[1] |
| Propriétés chimiques | |
| Formule | SiH2F2 |
| Masse molaire[2] | 68,098 2 ± 0,000 4 g/mol H 2,96 %, F 55,8 %, Si 41,24 %, |
| Propriétés physiques | |
| T° fusion | −122 °C[1] |
| T° ébullition | −77,8 °C[1] |
| Masse volumique | 2,783 g·L-3[1] |
| Unités du SI et CNTP, sauf indication contraire. | |
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Le difluorosilane est un composé chimique de formule SiH2F2. Il se présente sous la forme d'un gaz incolore[1] dont le point d'ébullition, de −77,8 °C, est le plus élevé des fluorosilanes[3]. Il se décompose aux températures supérieures à environ 450 °C pour former du trifluorosilane SiHF3, du tétrafluorure de silicium SiF4 ainsi que d'autres composés[4].
Le difluorosilane peut être obtenu en faisant réagir du dichlorosilane SiH2Cl2 avec du trifluorure d'antimoine SbF3[5] :
Cette réaction libère également du tétrafluorure de silicium SiF4 avec de l'hydrogène H2[6].
Soumis à un arc électrique, les atomes d'hydrogène sont éliminés préférentiellement de la molécule SiH2F2, ce qui libère de l'hydrogène H2 en donnant du 1,1,2,2-tétrafluorodisilane F2HSi–SiHF2[5] :
- 2 SiH2F2 ⟶ SiHF2SiHF2 + H2.
À température élevée, le difluorosilane peut se dismuter en échangeant un atome d'hydrogène et un atome de fluor entre deux molécules, ce qui donne du fluorosilane SiHF3 et du trifluorosilane SiHF3[7].
Le difluorosilane peut être utilisé avec l'ammoniac NH3 pour le dépôt chimique en phase vapeur (CVD) de couches minces de nitrure de silicium Si3N4[8].
