Fluorosilane
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| Fluorosilane | |
| |
| Structure du fluorosilane | |
| Identification | |
|---|---|
| Synonymes |
fluorure de silyle |
| No CAS | |
| No ECHA | 100.033.539 |
| No CE | 236-909-6 |
| PubChem | 6327143 |
| SMILES | |
| InChI | |
| Apparence | gaz incolore[1] |
| Propriétés chimiques | |
| Formule | SiH3F |
| Masse molaire[2] | 50,107 7 ± 0,000 5 g/mol H 6,03 %, F 37,92 %, Si 56,05 %, |
| Propriétés physiques | |
| T° fusion | −98,6 °C[3] (sublimation) |
| T° ébullition | −98,6 °C[3] |
| Masse volumique | 2,048 g·L-3[1] |
| Unités du SI et CNTP, sauf indication contraire. | |
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Le fluorosilane est un composé chimique de formule SiH3F. Il se présente sous la forme d'un gaz incolore qui se condense à −98,6 °C en un solide cristallisé dans le système monoclinique, ayant à 96 K le groupe d'espace P21/n (no 14)[4].
Le fluorosilane peut être obtenu en faisant réagir du fluorométhane CH3F avec du silicium[5], de l'éther de silyle et de méthyle SiH3OCH3 avec du trifluorure de bore BF3[6] ou du chlorosilane SiH3Cl avec du trifluorure d'antimoine SbF3[7] :
Le fluorosilane peut être utilisé pour déposer des couches de silicium[8].
