シート抵抗

一般に三次元の導電性を表す場合、抵抗は次の式で表される。

${\displaystyle R=\rho {\frac {L}{A}}=\rho {\frac {L}{Wt}}}$

ただし、${\displaystyle \rho }$は抵抗率で、${\displaystyle A}$は試料の断面積、${\displaystyle L}$は試料の長さである。試料の断面積は、試料の幅${\displaystyle W}$と試料の厚さ${\displaystyle t}$の積で表される。

抵抗率に厚さを含めて考えると、抵抗は、次の式で表すことが可能である。

${\displaystyle R={\frac {\rho }{t}}{\frac {L}{W}}=R_{s}{\frac {L}{W}}}$

${\displaystyle R_{s}}$がシート抵抗である^[3]。

シート抵抗の次元は電気抵抗の次元と同じであるため、単位はΩになる。しかし、電気抵抗との混同を避けるために、慣例的にΩスクウェア（Ω□, ohms square）、またはΩ毎スクウェア（Ω/□ または Ω/sq., ohms per square）を使用する^[2]。これは、この値が任意の大きさの正方形の領域を電流が片方の端から対向する端へ流れる際の抵抗と解釈できるためである。