酸化インジウムスズ

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酸化インジウムスズ
識別情報
ECHA InfoCard 100.106.463 ウィキデータを編集
特性
外観 淡黄色~黄緑色(固体、組成により変化)
密度 7120-7160 kg/m3 (293 K)
融点

1800-2200 K

特記なき場合、データは常温 (25 °C)・常圧 (100 kPa) におけるものである。
ITO薄膜によりコーティングされた旅客機の窓。窓の一部分だけではなく、全域を熱することにより霜取りし、良好な視界を確保することができる。

酸化インジウムスズ(さんかインジウムスズ、: Indium Tin OxideITO)は酸化インジウム(III) (In2O3) と酸化スズ(IV) (SnO2) の無機混合物である。粉末は黄色~灰色であるが、可視光領域の透過率が高いため、薄膜ではほぼ無色透明であり[1]、主に透明電極として用いられる[2]

透明導電膜ITOの特徴は電気伝導性と透明性である[1]蒸着成膜することで電荷密度が向上し導電性も向上する傾向にあるが、その一方で透明性が低下してしまう。ITOの薄膜は主に電子ビーム蒸着法物理気相成長法、スパッタ蒸着法などを用いて製造されている[2]。実用上、重量比9:1程度で用いられることが多い。

利用

液晶ディスプレイ薄型テレビプラズマディスプレイタッチパネル電子インク有機EL太陽電池帯電防止剤電磁波シールド材料などで幅広く応用されている[2]

また光学コーティング剤としても用いられることがある。特筆すべきは赤外線反射材としての利用であり、建築物や自動車、ナトリウムランプのガラスなどに応用されることがある。このほかにもガスセンサー反射防止膜表面処理剤半導体レーザーへ応用されている。

代替物

出典

外部リンク

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