窒化タンタル

窒化タンタル（ちっかタンタル、Tantalum nitride）は、タンタルの窒化物である。銅やその他の導電性金属の間のバリアや「糊」の層、また熱酸化物等の誘電絶縁体フィルムの製造に使われることがある。これらのフィルムは、集積回路の製造の際に、薄膜抵抗器等として、シリコンウェハーの上に沈着される^[1]。

概要 物質名, 識別情報 ...

窒化タンタル

物質名
別名 Tantalum mononitride
識別情報
CAS登録番号	12033-62-4
3D model (JSmol)	Interactive image
ChemSpider	74745 Ta3N5: 10605738
ECHA InfoCard	100.031.613
EC番号	234-788-4
PubChem CID	82832
CompTox Dashboard (EPA)	DTXSID6065183
InChI Key: MZLGASXMSKOWSE-UHFFFAOYSA-N InChI=1S/N.Ta
SMILES N#[Ta]
性質
化学式	TaN
モル質量	194.955 g/mol
外観	黒色結晶
密度	14.3 g/cm3
融点	3,090 °C (5,590 °F; 3,360 K)
水への溶解度	不溶
構造
結晶構造	六方晶, hP6
空間群	P-62m, No. 189
危険性
引火点	不燃性
関連する物質
その他の 陽イオン	窒化バナジウム(III) 窒化ニオブ
特記無き場合、データは標準状態 (25 °C [77 °F], 100 kPa) におけるものである。  verify (what is  N ?)

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