Fluorure d'oxalyle
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| Fluorure d'oxalyle | |
| Structure du fluorure d'oxalyle | |
| Identification | |
|---|---|
| Synonymes |
difluorure d'oxalyle |
| No CAS | |
| No ECHA | 100.006.029 |
| No CE | 206-630-4 |
| PubChem | 9668 |
| SMILES | |
| InChI | |
| Propriétés chimiques | |
| Formule | C2F2O2 |
| Masse molaire[1] | 94,017 ± 0,002 2 g/mol C 25,55 %, F 40,41 %, O 34,04 %, |
| Unités du SI et CNTP, sauf indication contraire. | |
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Le fluorure d'oxalyle est un composé chimique de formule OFC–CFO. Il s'agit d'un halogénure d'acyle dérivé de l'acide oxalique HOOC–COOH, le plus simple des acides dicaboxyliques. Il est étudié comme produit de remplacement pour les opérations de gravure de matériaux diélectriques en remplacement de composés à fort potentiel de réchauffement global[2].