トリクロロシラン

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トリクロロシラン
物質名
IUPAC名

トリクロロシラン

識別情報
3D model (JSmol)
ChemSpider
ECHA InfoCard 100.030.026 ウィキデータを編集
EC番号
  • 233-042-5
RTECS number
  • VV5950000
UNII
国連/北米番号 1295
性質
HCl3Si
モル質量 135.45 g/mol
外観 無色液体
密度 1.342 g/cm3
融点 −126.6 °C (−195.9 °F; 146.6 K)
沸点 31.8 °C (89.2 °F; 304.9 K)
加水分解
危険性[1]
GHS表示:
可燃性腐食性物質急性毒性(高毒性)急性毒性（低毒性）
Danger
H224, H250, H302, H314, H332
P231, P280, P305+P351+P338+P310, P310, P370+P378
NFPA 704（ファイア・ダイアモンド）
NFPA 704 four-colored diamondHealth 3: Short exposure could cause serious temporary or residual injury. E.g. chlorine gasFlammability 4: Will rapidly or completely vaporize at normal atmospheric pressure and temperature, or is readily dispersed in air and will burn readily. Flash point below 23 °C (73 °F). E.g. propaneInstability 2: Undergoes violent chemical change at elevated temperatures and pressures, reacts violently with water, or may form explosive mixtures with water. E.g. white phosphorusSpecial hazard W: Reacts with water in an unusual or dangerous manner. E.g. sodium, sulfuric acid
3
4
2
W
引火点 −27 °C (−17 °F; 246 K)
185 °C (365 °F; 458 K)
爆発限界 1.2–90.5%
安全データシート (SDS) ICSC 0591
特記無き場合、データは標準状態 (25 °C [77 °F], 100 kPa) におけるものである。

トリクロロシラン（英: trichlorosilane）は、ケイ素、塩素、水素から成る無機化合物で、分子式は HSiCl3 と表される。高温で熱分解を起こして単体ケイ素に変わる性質から、半導体工業において高純度ケイ素の主原料として利用される[2]。水と触れると速やかに分解してシリコーンのポリマーおよび塩化水素となる[2]。反応性が高く入手が容易であることから、有機ケイ素化合物の原料ともされる[2]。

用途

出典

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